Restgasanalysatoren LEYSPEC
Die LEYSPEC Restgasanalysator-Produktfamilie (RGA) ermöglicht eine einfache und intuitive Bedienung.
Auf Knopfdruck können Sie sich die Partialdrücke von Schlüsselgasen anzeigen und wenn Ihr Prozess ein zusätzliches Gas beinhaltet, können Sie es dem Ersatzanzeigekanal zuordnen.
Aufgrund der hohen Ausheiztemperaturen ist die LEYSPEC ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Hochvakuum- und Ultrahochvakuumanwendungen.
Die Messzelle ist ein Heißkathoden-Ionisations-Vakuummeter. Elektronen werden von den heißen Filamenten emittiert und über eine elektrische Vorspannung zur Quelle beschleunigt. Die sich schnell bewegenden Elektronen kollidieren mit den Gasmolekülen, verdrängen Elektronen und ionisieren sie so. Positive Gasionen liefern ihren Strom an den negativ belasteten Ionenkollektor. Der Ionenstrom ist proportional zum Druck. Je mehr Ionen, desto höher der Ionenstrom. Das Quadrupol-Array besteht aus vier Edelstahlstäben. An alle Stäbe wird ein Gleichstrom und eine Hochfrequenzspannung angelegt. Dadurch entsteht ein komplexes Magnetfeld. Durch Variieren der Spannung wird das Magnetfeld gesteuert.
Die resultierende Vibration lässt nur Ionen einer bestimmten Masse durch sie hindurch "fliegen" und den Detektionsteil erreichen:
Ionen mit einem geeigneten Masse-Ladungs-Verhältnis (m/e) oszillieren in einer stabilen dreidimensionalen Flugbahn durch die Pole.
Ionen falscher m/e geraten außer Kontrolle und kollidieren mit den Polen
Die Ionen kommen im Ionenkollektor an und liefern einen Ausgangsstrom, der ein Maß für die relative Häufigkeit der Ionen ist, die durch den Filter gelangen. Der Ionenstrom oder Partialdruck gegen das m/z-Verhältnis wird dann auf dem Gerät oder in der Software angezeigt.
Basierend auf dem beschriebenen Funktionsprinzip überprüft die LEYSPEC RGA die Gasreinheit, indem sie die Gaszusammensetzung findet und anzeigt. Dies ermöglicht es der LEYSPEC, Gasverunreinigungen zu identifizieren und weitere Prozess- und Anlagenkontrollen durchzuführen, um die Prozessleistung und -ausbeute insgesamt zu optimieren.
All-in-One-Gerät für einfache und intuitive Bedienung
Aufgrund seiner hohen Empfindlichkeit ermöglicht der LEYSPEC Restgasanalysator den Nachweis sehr kleiner Spuren von Verunreinigungen oder Prozessgasen. Die Produktpalette umfasst Lösungen für 100, 200 und 300 amu. Backtemperaturen von bis zu 300 °C für Einsätze in rauen Umgebungen sind möglich.
Die LEYSPEC lässt sich mit eigener Software und integrierter Bedien- und Anzeigeeinheit intuitiv bedienen. Eine einfache Restgasanalyse ist ohne Anschluss an einen Computer möglich. Wichtige Gase können auf Knopfdruck angezeigt werden und ein Ersatzdisplay ist verfügbar, so dass zusätzliche Gase angezeigt werden können.
Sie eignen sich auch für anspruchsvolle Prüfverfahren und Restgasanalysen in Hochvakuumsystemen.
Mit den vorinstallierten Funktionen des LEYSPEC, wie Helium-Dichtheitsprüfung, Warnungen und Fehlerstufen für wählbare Gase sowie einer Entgasungsfunktion nach dem Start oder der Entlüftung, ist dieser Restgasanalysator eine großartige Ergänzung für jedes System.
Das mobile Restanalysatorsystem
Der LEYSPEC Cart verfügt über ein voll integriertes Differentialpumpensystem für maximale Flexibilität und einfache Handhabung.
Es handelt sich um ein völlig unabhängiges Pumpsystem, das sich leicht an eine Vielzahl von Messaufgaben anpassen lässt, mit schneller Betriebsbereitschaft und Bedienbarkeit bei verschiedenen Drücken.
Unsere Lösungen:
Unabhängiges Pumpensystem mit SCROLLVAC 7 plus und TURBOVAC 350 i
Integrierte Prozesssteuerung für schnelle und einfache Bedienung
Einfache und intuitive Software für LEYSPEC RGA
Vollständig integriert in einen unabhängig beweglichen Wagen
UHV-Nadelventil für flexiblen Betrieb bei unterschiedlichen Druckstufen bis hin zur Atmosphäre
Kompakt und einfach
Alle Produkte verfügen über das integrierte Display für einfache und schnelle Bedienung sowie die LEYSPEC-Software für anspruchsvolle Prüfverfahren und Restgasanalysen. Kompakt in der Größe und montierbar in jeder Ausrichtung, ist die LEYSPEC-Produktreihe perfekt für verschiedene Einbausituationen geeignet.
Durch die intuitive Benutzeroberfläche ist der LEYSPEC Restgasanalysator sehr einfach zu bedienen. Auf Knopfdruck können Sie sich die Partialdrücke von Schlüsselgasen anzeigen und wenn Ihr Prozess ein zusätzliches Gas beinhaltet, können Sie es dem Ersatzanzeigekanal zuordnen.