Rasterelektronenmikroskopie (REM)
Rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen: Qualitässicherung, Schadensanalyse, Partikelanalyse, Fraktographie, EDX-Analyse
Im Rasterelektronenmikroskop wird die Oberfläche eines Festkörpers mit hoher Schärfentiefe dargestellt. Mit Hilfe einer Wolframkathode wird ein Elektronenstrahl erzeugt, welcher die Oberfläche einer Probe im Hochvakuum abrastert. Die dabei entstehenden Wechselwirkungsprodukte werden detektiert und liefern Bildinformationen über die Oberflächenbeschaffenheit. Mittels Sekundär- oder Rückstreuelektronen-Kontrast lassen sich verschiedene Darstellungsformen wählen. So sind Bewertungen von Bruchflächen oder Topographien sehr detailliert möglich.
Um ein Bild im REM auflösen zu können, muss die Probe leitfähig sein. Dies kann durch Bedampfen mit einer hauchfeinen Gold- oder Graphitschicht geschehen. Für organische Proben besteht zudem die Möglichkeit der Handhabung im Niedervakuum.
Die GWP besitzt zwei Rasterelektronenmikroskope mit folgenden Anwendungsmöglichkeiten:
Bildgebung durch Sekundär- oder Rückstreuelektronen-Kontrast
Auflösung im 2stelligen nm-Bereich (50.000-fach)
Betrieb mit geringem Vakuum (1 bis 270 Pa) möglich (keine Bedampfung der Probe nötig)
EDX-Elementanalyse mit Silizium-Drift-Detektor
Große Probenkammer: Proben mit Durchmessern bis zu 200 mm, 70 mm Höhe und bis 2 kg Gewicht