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Beschichtungsanlagen für die Plasma-CVD

Beschichtungsanlagen für die Plasma-CVD

Diese Beschichtungsanlagen wurden mit der Zielstellung entwickelt Beschichtungen allein auf der Basis von Plasma-CVD-Prozessen zu realisieren. Dabei bilden die im Plasma erzeugten Molekülfragmente verschiedener Gase die Bausteine der wachsenden Schicht. Es werden also sämtliche Schichten - sowohl die Haft- als auch die Funktionsschicht - aus der Gasphase abgeschieden. So ist ein vergleichsweise einfaches und robustes Design dieser Plasma-Vakuum Beschichtungsanlage möglich. Daraus resultieren kürzere Prozesszeiten und geringere Kosten für die PCVD-Beschichtung als beim Einsatz metallischer Haftschichten. Mit dem PCVD Verfahren werden Schichten aus DLC:Si und DLC:F, Siliziumkarbid SiC und Siliziumoxid SiO2 hergestellt. Der Verzicht auf eine metallische Haftschicht ist besonders bei der Beschichtung verschiedener Plastikmaterialien, Keramiken oder Gläser sowie bei weichen Nichteisenmetallen wie Aluminium sinnvoll. Des weiteren ist die Anlage für Plasmaätzprozesse verschiedener Metalle, Keramiken und Gläsern mithilfe Fluor enthaltender Gase sowie der Plasmaaktivierung von Kunststoffen zur Haftungsvermittlung für andere Beschichtungen oder von Lacken ausgelegt. Illustration zur prinzipiellen Funktionsweise der Plasma-CVD Beschichtungsanlage. Mithilfe verschiedener Stromversorger wird ein Niederdruck-Plasma gespeist in dem Gasmoleküle zerlegt und damit zur Bildung einer dünnen Schicht reaktionsfähig gemacht werden. Der Arbeitsdruck von etwa 5 Pa wird durch verschiedene Vakuumpumpen erzielt CAD-Darstellung des Vakuumbehälters (Rezipient) am Beispiel der STARON 100-120 STARON 100-120 mit Steuer- und Versorgungseinheit Die Soft-SPS Steuerung der Anlage ermöglicht den vollautomatischen Betrieb. Die Rezepturen für die gewünschten Plasma-Beschichtungen oder Plasma-Behandlungen werden implementiert - außer dem Beladen der Anlage und Starten des Programms sind keine weiteren Aktivitäten erforderlich. Wahlweise kann in die Prozesse eingegriffen werden. Der zeitliche Verlauf der Prozessparameter während der Beschich-tung wird protokolliert. Das sind Plasma-CVD Beschichtungsanlagen Typ STARON Beschichtungen: DLC:F, DLC:Si Prozesse: Plasmaätzen, Plasmaaktivieren (Fluor, Sauerstoff, Wasserstoff) Rezipient Innen: Höhe max. ca. 2200mm, Durchmesser max. ca. 1500mm Vakuumpumpen: Zwei- oder dreistufiges System aus Schrauben- und Rootspumpen Plasmaanregung: Wahlweise Hoch oder Mittelfrequenz, Leistung 1kW bis 10kW Gasversorgung Massflowcontroller für H2, O2, Kohlenwasserstoffe und Silane Heizung: 2 Stk. Mantelheizleiter a 2 kW Leistungsaufnahme: etwa 5 kW im Normbetrieb Wasserkühlung erforderlich bei speziellen Plasmastromversorgern und Vakuumpumpen Druckluft erforderlich bei speziellen Ventilen und Vakuumpumpen
Plasmaschneiden

Plasmaschneiden

Plasmaschneiden mit vollprogrammierbarem Fasenaggregat (Tischgröße bis 4,5 x 16 m) Bis max. 50mm Blechstärke inkl. Fase Ob Brennzuschnitte oder Grobbleche auf Maß – durch einen Lagerbestand von 4.000 Tonnen und dem OTTOSTAHL Lieferanten-Netzwerk profitieren unsere Kunden von unserem breiten Angebot und einer schnellen und zuverlässigen Anlieferung. Band- und Quartobleche, 1 – 250 mm Dicke, bis 3.500 mm Breite / bis 16.000 mm Länge, Baustähle, Druckbehälterstähle, Hochfeste Stähle, Verschleißstähle
Plasmanitrieren

Plasmanitrieren

Zu unserem Leistungsspektrum im Bereich der Oberflächenveredelung gehört das Randschicht-Härten durch das Plasmanitrieren (auch bekannt als Plasma-Härten oder Ionitrieren). Beim diesem Wärmebehandlungsverfahren wird die Oberfläche des Behandlungsgutes mit Stickstoff angereichert. Dabei bilden sich in der Randschicht Eisen- und Sondernitride, die eine Härtesteigerung der Oberflächenrandzone bewirken. Beispiele von erreichbaren Härtewerten: Stahl DIN-Nr. Härten (HRC) Plasmanitrieren (HV1) 1.0503 300-500 9SMnPb28K 1.0718 200-500 16MnCr5 1.7131 500-650 42CrMo4 1.7225 550-650 50CrV4 1.8159 450-600 56NiCrMoV7 1.2714 550-650 X210Cr12 1.2080 900-1200 34CrAIMo51 1.8507 900-1100 X40CrMoV51 1.2344 900-1200 X155CrVM0121 1.2379 900-1250 31CrMoV9 1.8519 800-1000 34CrAINi7 1.8550 900-1200 X210CrW12 1.2436 900-1200 GGG70 500-700 Das eingesetzte ELTROPULS Nitrier-Verfahren basiert auf einer patentierten Pulsplasma-Nitriertechnologie. Vorteile des Pulsplasma-Nitrierverfahrens: - niedrige Behandlungstemperaturen (ab 350 °C bis max. 560 °C) - Verzugsarmes Verfahren (minimale Maß- und Formänderung) - hohe Oberflächenhärte (bei geeigneten Werkstoffen bis zu 1250 HV) - Erhöhung der Verschleißfestigkeit (als Folge der höheren Härte und Festigkeit der Randschicht) - Verbesserung der Gleiteigenschaften (Verminderung des Reibungskoeffizienten) - Verringerung der Adhäsion zum Verschleißpartner - wesentlich glattere Oberflächen als bei anderen Nitrierverfahren (z.B. Gasnitrieren) - hohe Reproduzierbarkeit der Randschichteigenschaften - anwendbar bei allen Stahlsorten sowie Guss- und Sintereisenwerkstoffen - Prozesskombinationen sind möglich (z.B. Nitrieren + Oxidieren) - umweltfreundlich Eine höhere Beständigkeit gegen abrasiven Verschleiß kann durch eine kombinierte Oberflächenbehandlung erzielt werden, die das Plasmanitrieren mit nachfolgender PVD-Beschichtung umfasst. Die durch das Plasmanitrieren gehärteten Oberflächen bieten eine hervorragende Stützgrundlage für die nachfolgende PVD-Hartstoffbeschichtung (siehe Abb. unten).
Kupfer Beschichtungen – die Basis für weitere galvanische Schichten

Kupfer Beschichtungen – die Basis für weitere galvanische Schichten

Kupfer dient als Basis für weitere galvanische Beschichtungen, wie z. B. Zinn- oder Nickelgalvanik. Das Verfahren beginnt mit der Abscheidung von blanken, mikrokristallinen und duktilen Kupferschichten in einem elektrolytischen Verfahren. Der Vorteil eines fertigen Kupfer-Nickel-Beschichtungssystems: Es erfüllt zahlreiche Anforderungen an den Korrosionsschutz bei gleichzeitig ansprechender Optik. Kupfer zeichnet sich durch gute Deckeigenschaften, hohe Duktilität und hervorragende elektrische und thermische Leitfähigkeit aus. Darüber hinaus eignen sich Kupferbeschichtungen auch für eine nachträgliche Passivierung
Blechbearbeitung und Schweißen

Blechbearbeitung und Schweißen

Mehrfachkantung Unsere Blechbearbeitungsmöglichkeiten: Laserschneiden Baustahl 0,5 bis 12 mm, Edelstahl 0,5 bis 6 mm, Plattengröße 3 x 1,5 m CNC-Feinstrahl-Plasmaschneiden Baustahl bis 50 mm und Edelstahl bis 35 mm, Plattengröße 4,5 x 2 m CNC-Autogen Brennschneiden bis 100 mm Baustahl Plattengröße 4,5 x 2 m max. 2t Schweißen Baustahl und Edelstahl mit WIG, MAG-Impuls Plasmaschneidanlage Schweißen Aluminium mit WIG–Wechselstrom MIG-löten und Hartlöten Bolzenschweißen bis M8x40 mm Widerstands-Punktschweißen Glasperlenstrahlen im Strahlhaus ca. 8 x 5 m Grundfläche elektrolytisches entfernen der Anlauffarben von Edelstahlschweißnähten Werkzeuge für Abkantpresse Blech zuschneiden mit NC-Schlagschere 3 m Schnittlänge bis 5 mm, mit NC-Anschlag und Hochhaltevorrichtung für Dünnbleche Rohr, Winkel und Flachstahl biegen mit Ringbiegemaschine walzen mit Dreiwalzenbiegemaschine mit Konuseinrichtung 1270 mm Breite bis 2,5 mm Blech und Durchmesser 100 mm Kantungen mit hydraulischer CNC-Abkantpresse 220t und 8-Achsen (geteilte Werkzeuge; 3,1 m Länge, 2,6 m zwischen den Ständern) Beschichtung durch Spritzlackieren in eigener Lackierkabin
Plasma-CVD Beschichtungen

Plasma-CVD Beschichtungen

Diamond-like Carbon (DLC) höchster Qualität Plasmaentladung eines Magnetrons PTBMag30 in verschiedenen Zuständen Der Betrieb der Sputterbeschichtungsanlagen erfolgt im vollautomatischen Betrieb mithilfe einer Soft-SPS auf Windows-PC. Die Prozesse für die jeweiligen Beschichtungen sind in die Software implementiert. Nach dem Beschicken der Anlage und Starten des Programms sind keine weiteren Aktivitäten erforderlich. Wahlweise kann in die Prozesse eingegriffen werden. Der korrekte Verlauf des Beschichtungsprozesses wird protokolliert und archiviert. Eine Modifikation der Beschichtungsanlage inklusive Rezipient ist möglich. CAD-Darstellung des Rezipienten (Vakuumbehälters) einer Sputteranlage mit Blindflanschen Sputter-PVD Beschichtungsanlage STARON 80-100 inklusive Einhausung mit abgesetzter Steuer- und Versorgungseinheit Das sind Sputter- und konbinierte Beschichtungsanlagen vom Typ STARON Beschichtungen: Metalle, Metallnitride, Metalloxide, Metallcarbide, Prozesse: Sputter-PVD PCVD , Sputter-Ätzen, Plasma-Ätzen Rezipient: Innenhöhe 1000mm, Innendurchmesser ca. 800mm Steuerung: Soft-SPS unter Windows-Betriebssystem Vakuumerzeugung: Dreistufiges System aus Drehschieber-, Roots- und Turbopumpe Heizung: Strahlungsheizung 5 kW (nötig zum Evakuieren der Anlage) Bis zu vier Magnetronquellen Plasmaquelle für Ätzen, Sputterätzen, Plasma-CVD Plasmageneratoren: DC oder Mittelfrequenz, Leistung 2kW bis 10kW Werkstückaufnahme: Planetengetriebe mit max. 18 Positionen für Zwei- oder Dreifachrotation Werkstückaufnahme alternativ: Einfachrotation - Aufnahme eines Werkstückes bis ca. 500 kg Masse Wasserkühlung erforderlich für Vakuumpumpen und Magnetrons Druckluft erforderlich bei speziellen Ventilen und Vakuumpumpen