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Beschichtungsanlagen für die Plasma-CVD

Beschichtungsanlagen für die Plasma-CVD

Diese Beschichtungsanlagen wurden mit der Zielstellung entwickelt Beschichtungen allein auf der Basis von Plasma-CVD-Prozessen zu realisieren. Dabei bilden die im Plasma erzeugten Molekülfragmente verschiedener Gase die Bausteine der wachsenden Schicht. Es werden also sämtliche Schichten - sowohl die Haft- als auch die Funktionsschicht - aus der Gasphase abgeschieden. So ist ein vergleichsweise einfaches und robustes Design dieser Plasma-Vakuum Beschichtungsanlage möglich. Daraus resultieren kürzere Prozesszeiten und geringere Kosten für die PCVD-Beschichtung als beim Einsatz metallischer Haftschichten. Mit dem PCVD Verfahren werden Schichten aus DLC:Si und DLC:F, Siliziumkarbid SiC und Siliziumoxid SiO2 hergestellt. Der Verzicht auf eine metallische Haftschicht ist besonders bei der Beschichtung verschiedener Plastikmaterialien, Keramiken oder Gläser sowie bei weichen Nichteisenmetallen wie Aluminium sinnvoll. Des weiteren ist die Anlage für Plasmaätzprozesse verschiedener Metalle, Keramiken und Gläsern mithilfe Fluor enthaltender Gase sowie der Plasmaaktivierung von Kunststoffen zur Haftungsvermittlung für andere Beschichtungen oder von Lacken ausgelegt. Illustration zur prinzipiellen Funktionsweise der Plasma-CVD Beschichtungsanlage. Mithilfe verschiedener Stromversorger wird ein Niederdruck-Plasma gespeist in dem Gasmoleküle zerlegt und damit zur Bildung einer dünnen Schicht reaktionsfähig gemacht werden. Der Arbeitsdruck von etwa 5 Pa wird durch verschiedene Vakuumpumpen erzielt CAD-Darstellung des Vakuumbehälters (Rezipient) am Beispiel der STARON 100-120 STARON 100-120 mit Steuer- und Versorgungseinheit Die Soft-SPS Steuerung der Anlage ermöglicht den vollautomatischen Betrieb. Die Rezepturen für die gewünschten Plasma-Beschichtungen oder Plasma-Behandlungen werden implementiert - außer dem Beladen der Anlage und Starten des Programms sind keine weiteren Aktivitäten erforderlich. Wahlweise kann in die Prozesse eingegriffen werden. Der zeitliche Verlauf der Prozessparameter während der Beschich-tung wird protokolliert. Das sind Plasma-CVD Beschichtungsanlagen Typ STARON Beschichtungen: DLC:F, DLC:Si Prozesse: Plasmaätzen, Plasmaaktivieren (Fluor, Sauerstoff, Wasserstoff) Rezipient Innen: Höhe max. ca. 2200mm, Durchmesser max. ca. 1500mm Vakuumpumpen: Zwei- oder dreistufiges System aus Schrauben- und Rootspumpen Plasmaanregung: Wahlweise Hoch oder Mittelfrequenz, Leistung 1kW bis 10kW Gasversorgung Massflowcontroller für H2, O2, Kohlenwasserstoffe und Silane Heizung: 2 Stk. Mantelheizleiter a 2 kW Leistungsaufnahme: etwa 5 kW im Normbetrieb Wasserkühlung erforderlich bei speziellen Plasmastromversorgern und Vakuumpumpen Druckluft erforderlich bei speziellen Ventilen und Vakuumpumpen
Plasmaschneiden

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Plasmaschneiden mit vollprogrammierbarem Fasenaggregat (Tischgröße bis 4,5 x 16 m) Bis max. 50mm Blechstärke inkl. Fase Ob Brennzuschnitte oder Grobbleche auf Maß – durch einen Lagerbestand von 4.000 Tonnen und dem OTTOSTAHL Lieferanten-Netzwerk profitieren unsere Kunden von unserem breiten Angebot und einer schnellen und zuverlässigen Anlieferung. Band- und Quartobleche, 1 – 250 mm Dicke, bis 3.500 mm Breite / bis 16.000 mm Länge, Baustähle, Druckbehälterstähle, Hochfeste Stähle, Verschleißstähle
Kunststoff-Fenstersystem Schüco Corona CT 70 AS

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Das Kunststoff-Fenstersystem Schüco Corona CT 70 AS mit Anschlagdichtung basiert auf einer 5-Kammer-Technologie. Schmale Ansichtsbreiten sorgen für einen höchstmöglichen Lichteinfall und bieten gleichzeitig sehr gute Wärmedämm-eigenschaften.
Sputter-Beschichtungen (PVD)

Sputter-Beschichtungen (PVD)

Alle handelsüblichen Metalle - von Aluminium bis Tantal Alle Metallnitride wie Aluminiumnitrid, Chromnitrid, Titannitrid etc. Oxide wie Aluminiumoxid, Siliciumiumoxid, Chromoxid etc. Metallcarbide wie Titancarbid oder Wolframcarbid
Transparenter Korrosionsschutz

Transparenter Korrosionsschutz

In extrem aggressiven chemischen Umgebungen werden selbst verschiedene Gläser angegriffen. Dies betrifft auch insbesondere optische Komponenten. Durch Aufbringen einer hinreichend dünnen Siliziumkarbid Schicht wird die optische Transmission nur geringfügig reduziert, die chemische Beständigkeit aber um ein Vielfaches gesteigert.
Kombinierter Korrosions- und Verschleißschutz

Kombinierter Korrosions- und Verschleißschutz

Im chemischen Apparatebau werden Komponenten unter extremen Bedingungen eingesetzt, denen fallweise eine Schicht aus SilCor® Siliziumkarbid besser widerstehen kann als eine DLC Beschichtung. Dies betrifft insbesondere den Einsatz bei Temperaturen oberhalb 400 Grad Celsius, wo SiC beschichtete metallische Komponenten ähnlich gutes Verhalten wie massive Keramik aufweisen. Durch die hohe Oberflächengüte und die geringe Oberflächenenergie wird zusätzlich die Bildung von Belägen reduziert. Diese Eigenschaften zusammen mit der hohen Härte machen die Siliciumcarbidschicht auch für die Erdöl und Erdgas fördernde Industrie attraktiv. Innenbeschichtung: Ein Rohr aus Edelstahl (Innendurchmesser 160 mm, in der Beschichtungskammer - links) sowie Flanschbauteile aus Stahl (Innendurchmesser 65 mm - rechts) die durch gezielte Gasführung und Plasmaanregung innen mit SiC beschichtet sind. Währen im Innern eine dicke Schicht wächst, die - je nach Dicke und Zusammensetzung - oberhalb einiger µm braun bis schwarz erscheint, werden im Außenbereich nur einige Zehntel µm abgeschieden, die farbige Interferenzmuster bilden.