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Kleinste Bohrungen, enorme Wirkung Laut DIN Definition handelt es sich immer um eine Bohrung oder ein Bohrloch, wenn der Lochdurchmesser kleiner als die Materialstärke ist. Je nach Anwendung werden Sack- oder Durchgangslöcher im Einschussverfahren, durch Percussionsbohren oder mit Hilfe von speziellen Optiken im Trepanierverfahren oder ganz einfach durch Schneiden des Umfangs hergestellt. Das Wendel- oder Helixbohren unterscheidet sich insofern vom Trepanierbohren, dass der Werkstoff schichtweise abgetragen wird und somit keine kombinierte Bohr- und Schneidetechnik vorliegt. Von der Vorstellung eines vollständig zylindrischen Loches, wie es bei der mechanischen Bearbeitung hergestellt wird, muss man sich typischerweise verabschieden. Je nachdem welche Anforderungen an ein Bohrloch gestellt werden, sind bei der Herstellung mittels Laserbearbeitung immer Vorgaben hinsichtlich der zulässigen Differenz der Lochdurchmesser auf der Lasereintritts- und Laseraustrittsseite aufgrund der vorhandenen Konizität anzugeben. Zum Beispiel kann die Konizität einer Bohrung mit Hilfe einer Trepanieroptik am Ultrakurzpulslaser von 11° bis zu einer negativen Konizität variiert werden. Ebenfalls sind Angaben zu zulässigen Formabweichungen vom Idealkreis nötig, da sich gerade beim Einzelschuss- und Percussionsbohren die Energieverteilung im Fokuspunkt als formgebend für das Loch darstellt. Typische Anwendungen sind das Bohren von Einspritzdüsen, das Erzeugen von Durchkontaktierungen (Microvias) in Keramik, Glas oder Siliziumwafern als Schaltungsträger und die Herstellung von Sieben und Filtern. Anwendungsbeispiele • Masken, Blenden und Schablonen • Nutzensubstrate, Netzwerke, Hybride • Keramikeinzelbauteile • Mikrofluidik Verfügbare Materialien • Keramik, Glas, Silizium • Buntmetalle • Schwermetalle • Leichtmetalle

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