Miniatur Lineartisch / Mini Linear Stage (Positioniersystem)
Miniatur Linear Stages, Hub 10 - 80 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 9 kg, Speed bis 100 mm/s
Klein und kompakt
Unsere Mikrotische der MT-Serie sind speziell für Anwendungen mit geringem
Platzbedarf konstruiert worden. Dabei kommen unterschiedliche Antriebe zum
Einsatz – von moderner Piezotechnik bis hin zu Spindelantrieben.
Gut kombinierbar
Einige Mikrotische lassen sich optimal zu kompakten Mehrachssystemen kombinieren, die mittels unserer Controller der FMC-Serie einfach angesteuert werden.
Anwendungen
Aufbau kompakter Mehrachssysteme / Aligner, Präzisionsscannen, Optik, Labor und Forschung, Zuführachsen für die Probenpositionierung, Laser, Inspektion, AOI, Halbleiter sowie Messtechnik
Produktvarianten
- Verfahrweg von 340° bis n x 360° (unbegrenzt)
- Wiederholgenauigkeit bis 0.0001°
- Geschwindigkeit von 300 - 1500°/s
- Last 1 - 15kg
- Motoren: AC Servo, DC-Motor, Linearmotor, Piezo Motor, Schrittmotor, Torque Motor
- Mit oder ohne Durchlicht / Apertur
Optionen
- kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
- Varianten Reinraum: bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
- Varianten Strahlung: UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
- Varianten Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei
- Varianten Vakuum: bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)