Schwingquarz Sensoren und Messgeräte, Ratenmessung, Schichtdickenmessung
INFICON bietet
Schwingquarz-Sensoren in unterschiedlichen Ausführungen, einfach, zweifach und zwölffach
Schwingquarz-Mess- und -Regelgeräte
INFICON bietet:
Schwingquarz-Sensoren mit 1, 2 und 12 Schwingquarzen, in HV- und UHV-Ausführung, für Sputterprozesse, in "Cool Drawer" Ausführung, optional mit Blende
Schwingquarz-Monitore und -Regelgeräte, mit bis zu 8 Messkanälen und 6 Regelkanälen
Schwingquarze (14 mm) für alle gängigen Geräte/Sensoren
5 MHz und 6 MHz, kundenspezifische Frequenzen als Option
Elektrodenmaterialien Au, Ag und Speziallegierung, weitere Materialien als Option
unterschiedliche Designfrequenzen bis maximal 285 °C