Prior XY-Positioniersystem mit Linearmotoren, HLD Tische mit höchster Genauigkeit
Positioniertisch mit linear Motor; Mikroskoptisch mit ausgezeichneter Repeatability; integrierte 50 nm Encoder; Versionen für verschiedene inverse Mikroskope erhältlich; OEM Version auf Anfrage; Controller VLD31XYZ empfohlen
• Wiederholgenauigkeit: 0,15 µm
• Minimale Schrittweite 0,05 µm
• Metrische Genauigkeit 0,045 µm
• Minimale Geschwindigkeit: 1 µm/sec
• Maximale Geschwindigkeit: 300 mm/sec
• Verfahrweg: 121 x 81 mm"
Wiederholgenauigkeit: 0,15 µm
Minimale Schrittweite: 0,05 µm
Metrische Genauigkeit: 0,045 µm
Minimale Geschwindigkeit: 1 µm/sec
Maximale Geschwindigkeit: 300 mm/sec
Verfahrweg: 121 x 81 mm