wafer orientation

– die Kristallebene, beschrieben in Miller-Indices, mit der die Oberfläche des Wafers idealerweise übereinstimmt. Im Allgemeinen entspricht die Oberfläche des Wafers innerhalb weniger Grad der niedrigsten Indexebene, die senkrecht zur Wachstumsachse verläuft. In solchen Fällen kann die Ausrichtung auch durch die Winkelabweichung a der niedrig-indexierten Kristallebene von der polierten Waferoberfläche beschrieben werden.