RFA-Spektrometer – 2830 ZT

Fortschrittliche wellenlängendispersive RFA-Analyse Der wellenlängendispersive Wafer-Analyzer (WDRFA) 2830 ZT bietet die ultimativen Möglichkeiten zur Messung der Dicke und Zusammensetzung von Schichten. Speziell für die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie entwickelt, ermöglicht der Wafer-Analyzer 2830 ZT von PANalytical die Bestimmung der Zusammensetzung, der Dicke, des Dotierungsgrads und der Oberflächenbeschaffenheit von Schichten bei Wafern bis zu einem Durchmesser von 300 mm. Schneller kontinuierlicher Betrieb Die 4-kW-SST-mAX-Röntgenröhre verfügt über die bahnbrechende ZETA-Technologie, durch die Röhrenalterungseffekte eliminiert werden. Die Leistung der Röhre bleibt während ihrer gesamten Lebensdauer wie im Neuzustand erhalten. Somit sind hohe Empfindlichkeit, schnelle Analysen und kurze Messzeiten dauerhaft gewährleistet. Die ZETA-Technologie reduziert zuverlässig die Notwendigkeit von Driftkorrekturen und Rekalibrierungen und erhöht somit die Produktivität und Betriebszeit des Geräts. Maximierte Betriebsverfügbarkeit Bei konventionellen Röntgenröhren verdampft Wolfram, wodurch sich auf der Innenseite des Berylliumfensters der Röhre Ablagerungen bilden. Beim Einsatz solcher Röntgenröhren müssen an den Geräten turnusmäßig Driftkorrekturen durchgeführt werden, um die abnehmende Intensität, insbesondere bei leichten Elementen, zu kompensieren. Beim 2830 ZT wird dieses Driftproblem durch Verwendung der SST-mAX-Röhre reduziert, wodurch die Betriebszeit des Geräts maximiert und seine Genauigkeit langfristig erhalten bleibt. Einfache Bedienung Zum Lieferumfang des 2830 ZT gehört die hochentwickelte Software SuperQ von PANalytical. Diese verfügt über FP Multi, ein Software-Paket, das speziell für die Analyse von Mehrfachschichten konzipiert ist. Durch die Benutzeroberfläche der Software ist gewährleistet, dass selbst unerfahrene Bedienpersonen vollständig automatisierte Fundamentalparameteranalysen von Mehrfachschichten durchführen können. Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl anwenderfreundlicher Module, die für den flexiblen Einsatz in Forschung und Technik ausgelegt sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen. FALMO-2G Der FALMO-2G kann in Laboren und Halbleiterwerken problemlos integriert werden, da er ein einfaches manuelles Laden aus der Kassette ebenso unterstützt wie die vollständige Automatisierung. Dank des hochflexiblen Konzepts stehen FOUP, SMIF und offene Kassetten-Ladeöffnungen zur Auswahl, als Einfach- oder Zweifachausführung. Die verschiedenen Konfigurationen des FALMO-2G werden alle von der GEM300-konformen Software unterstützt. Die Stellfläche des FALMO-2G wurde minimiert, ohne Flexibilität, Funktionalität und Zuverlässigkeit zu beeinträchtigen. Handhabung von Proben • Waferdurchmesser 100–300 mm durch direktes Laden • Maximale Wafer- oder Probendicke 2,5 mm • Laden aus FOUP, SMIF, offener Kassette und manuell • Durchsatz bis zu 25 Wafer pro Stunde Röntgenröhre • SST-mAX50, Endfensterröhre mit zugespitzter Form • Messfleckgröße 40 und 10 mm Detektor • Szintillationsdetektor mit 300-µm-Be-Fenster • icht entflammbares Argon/Methan • Durchflusszähler • Gasbefüllter Zähler • Scanner 10 ° bis 100 ° 2θ • Bis zu 24 Detektoren Installation • Umgebungstemperatur 18 bis 25 °C 18 - 25 °C (64 - 77 °F) • Entspricht SEMI S2/S8