Helium-Vakuum-Dichtheitsprüfung
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Beim Helium-Vakuum-Verfahren wird ein Prüfobjekt in eine Vakuumprüfkammer gelegt und die Kammer sowie der Prüfling evakuiert. Nach Erreichen des Zielvakuums wird Helium in das Prüfobjekt mit Testdruck eingebracht, und ein Massenspektrometer detektiert die Heliumkonzentration in der Kammer. Ein Anstieg dieser Konzentration deutet auf ein Leck im Prüfobjekt hin. Dieses Verfahren wird wegen seiner hohen Empfindlichkeit und Genauigkeit in Branchen mit hohen Dichtheitsanforderungen eingesetzt.

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