Interferometer
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Polychromatisches Licht wird auf eine transparente Oberfläche projiziert. An jeder Grenzfläche wird ein Teil des auftreffenden Lichts reflektiert. Es tritt eine Phasenverschiebung auf, die mit der Wellenlänge variiert. Bei bestimmten Wellenlängen tritt konstruktive, bei anderen Wellenlängen destruktive Interferenz auf. Wird die Intensität des Interferenzsignals über die Wellenzahl aufgetragen, kann daraus die optische Weglänge bestimmt werden. Aus der optischen Weglänge und dem Brechungsindex errechnet sich die Schichtdicke. Verfügbare Modelle: MODELL AUFLÖSUNG MESSBEREICH ARBEITSABSTAND SPOTGRÖSSE INT-180 (WL) 0,01 µm 0,39 µinch 3 µm – 180 µm 0,12 mils – 7,09 mils 9,5 mm 0,37 inch 10 µm 0,4 mils IT-500 (IR) 0,14 µm 5,51 µinch 37 µm – 4700 µm 1,46 mils – 185,0 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT-500 RW (IR) 0,17 µm 6,69 µinch 45 µm – 5600 µm 1,77 mils – 220,5 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT-1000 (IR) 0,25 µm 9,84 µinch 64 µm – 8200 µm 2,52 mils – 322,8 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT-1000 RW (IR) 0,22 µm 8,66 µinch 57 µm – 7300 µm 2,24 mils – 287,4 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT 18-3000 (IR) 0,09 µm 3,54 µinch 18 µm – 3000 µm 0,71 mils – 118,1 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT 150-15000 0,45 µm 17,72 µinch 150 µm – 15000 µm 5,91 mils – 590,6 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT TW (IR) 0,01 µm 0,39 µinch 4 µm – 300 µm 0,16 mils – 11,81 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils IT DW (IR) 0,06 µm 2,36 µinch 15 µm – 2000 µm 0,59 mils – 78,74 mils 39,7 mm 1,56 inch 13 µm 0,5 mils

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