Thermisches Bedampfen
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Beim thermischen Bedampfen verdampfen wir im Vakuum verschiedene Materialien, die später als Schicht auf das entsprechende Substrat kondensieren. Die Anlagen besitzen immer ein Hochvakuum-Pumpstand auf Basis trockener oder ölgedichteter Vakuumpumpen. Durch eine in-situ Schichtdicken Messung lassen sich reproduzierbare genaue Schichtsysteme abscheiden. Unsere CREAMET® Laboranlagen sind kompakte Beschichtungsanlagen, die in einem 19 Zoll Elektronikschrank aufgebaut sind. Ideal lässt sich diese Beschichtungsanlage mit unserer CREACONTROL® ansteuern. Für die Verwendung von reaktiven Materialien werden unsere Hochvakuum-Beschichtungsanlagen in eine Glovebox integriert. Die Ausführung der Vakuumkammer kann dabei als implosionsgeschützten Glasglocke oder als Edelstahl-Kammer erfolgen.

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Bedampfen

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