I²R - Induction Inline Heater

Induction Inline heating system for ultra pure fluids. Highly chemical resistant materials provide usage with a wide range of aggressive fluids (acid, alkaline, organic solvents) Unser I²R Induction Inline Heater ist ein einzigartiger point of use heater für hochaggressive Medien. Die verwendeten Materialien, PTFE, PFA, glassy carbon sorgen für kontaminiationsfreies Heizen aller gängigen Flüssigkeiten im Halbleiter, Pharma und Lebensmittelbereich. Die verwendete Technologie bietet eine bisher nicht gekannte, akkurate Temperaturregelung am point of use zur Verfügung. Je nach Anwendung wird eine Genauigkeit von unter 0,1°C erreicht. Temperatursprünge von 40°C bei 1lpm Durchfluss werdne spielend erreicht. Der heater ist zudem kaskadierbar sowie dynamisch regelbar. Anwendungen: 1. Booster Heizer am point of use in bestehenden Systemem 2. dynamische Heizregelung zb während eines naßchemischen Prozesses, oder Wafer zu Wafer, Lot zu Lot repeatability. 3. Heater / Cooler Anwendungen 4. Temperaturkompensation über Produktwafer Vorteile: * platzsparend * schnellste Temperaturänderung (<2s T90 bei 2lpm) * hoher Wirkungsgrad * hohe Lebensdauer * ATEX Version verfügbar kundenspezifische Anwendungen/ Ausführungen möglich